SS-20E6 SSerie GEKO Gasventile und Armaturen aus hochreinem Halbleiter sind für Halbleiterfertigungsprozesse konzipiert, die Folgendes erfordern ultra-sauber Hohe Leistungsfähigkeit und präzise Durchflussregelung. Gefertigt aus korrosionsbeständigen Materialien wie Edelstahl und Fluorpolymer. GEKO-Ventile bieten herausragende Zuverlässigkeit, leckagefreie Abdichtung und optimale Kompatibilität mit Spezialgasen. Ideal für die Waferfertigung, das Ätzen, die CVD-Beschichtung und andere kritische Reinraumanwendungen.
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